国家/地区 日本(24) 美国(11) 世界知识产权组织(8) 台湾(3) 中国(2)
IPC部 C(25) H(19) B(7)
IPC大类 C01(25) H01(18) B82(4)
C23(3)
IPC小类 C01B(25) H01L(18) B82Y(4)
C23C(2)
IPC C01B031/02(25)
发明人 SATO S(8) HAYASHI K(4) JIPPO H(4)
KONDO T(3) OFUCHI M(3) YAMAGUCHI J(3)
ASANO K(2) KAWABATA A(2) KONDO D(2)
OBUCHI M(2) SATO M(2)
公开年 2012(5) 2015(5) 2013(4) 2014(4) 2008(2) 2009(2)
申请年 2011(4)  2013(4)  2007(3)  2010(3)  2012(3)  2014(3)  2015(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(25)